第421章 追光设备国产化试产节点（2 / 2）

「所以追光五期那两台国产离子注入机能不能接天权6号的代工单，要看供应商在未来八个月内能不能把片内均匀性再提升一倍。」林薇在电话那头飞快地算了一组数据，「如果提升达不到，天权6号的流片就只能走境外代工通道。但实体清单随时可能落地，境外代工通道一旦被切断——」

「天权6号就没有代工选项了。」梁志远替她把话说完了。

这个结论让电话两端都沉默了几秒。追光四期的国产化试产节点刚刚成功，但成功的是天权4号这一代晶片的制造自主性。天权6号站在更先进的工艺节点上，对设备和耗材的要求比天权4号高了整整一个台阶。国产替代的速度在加快，但能不能赶在实体清单落地之前追上天权6号流片需求的工艺节点，仍然是一个未知数。

梁志远挂断电话后，在试产流程追踪表的背面写了一份简短的待办清单。第一项：国产离子注入机片内均匀性提升验证，排期与天权6号流片倒计时对齐，目标八个月内达到天权6号工艺规格。第二项：国产离子源灯丝在追光四期产线上的首轮注入剂量均匀性专项验证，排期两周内完成。第三项：化学机械抛光液国产替代中试样品在追光四期的首轮并行验证，排期三个月内启动。

他把待办清单拍照发给了老韩和郭工，同时抄送苏黛——抛光液中试放大的预算需要从产业扶持基金第二批资助中协调一部分，国内那家化工大学的课题组已经完成了实验室级的小试，但中试放大需要的超净环境和分析仪器投入远超出高校课题组的经费承载能力。苏黛在三分钟前刚批准了产业扶持基金第二批的三千万元前置拨付，看完梁志远的消息后追加了一条批注：「抛光液中试放大经费从产业链弹性预算中另行列支，不占用产业扶持基金额度。」

下午四点，追光四期中控室的显示屏上跳出了首批国产化试产晶圆的电性测试初步结果。十二片晶圆中，十一片通过所有电性参数测试，一片在金属互连电阻的片内均匀性上略超规格上限，被标记为待分析。初步良率估算在百分之九十一到九十三之间，与进口零部件产线的良率差距在两个百分点以内。考虑到这是第一次全线使用国产替代零部件的试产，这个良率已经超出了梁志远的预期。

他拿起终端给老韩发了第二条消息：「试产初步良率九十二，距追光四期标准良率差四个点。差距主要在金属互连抛光液的进口国产差异上，等国产抛光液中试样品上线后再做一轮验证。」

老韩的回覆在一分钟内到了：「比我预期的好。追光三期第一次全国产试产的时候，良率只有七十八。你们这一批直接从九十二起步，省了至少三个月的良率爬坡时间。晚上让食堂给试产团队加菜。」

梁志远看完消息，把试产流程追踪表合上，走进了追光四期的中控室隔壁的数据存档间。这里排列着八台伺服器机柜，每一台都存储着追光系列产线从一期到四期的全部工艺数据。天枢OS产线管理系统的数据采集模块正在将今天试产的十二片晶圆的完整工艺参数自动归档——从刻蚀工序的等离子体密度和气体流量，到离子注入的剂量和能量，再到金属互连的抛光速率和终点检测曲线，全部打包成一个加密数据文件，标注的时间范围精确到每道工序的起始和结束毫秒。

这个数据文件将在四十八小时内被复制一份发送到欧罗巴联合检测验证工作组的秘书处，作为未来科技产业链韧性验证的第三批佐证材料。第一批是恒信科技的检测设备对比数据，第二批是天罡Edge医疗版的临床数据，第三批就是追光四期国产化替代产线的全流程工艺数据。三批数据分别对应周明在法律框架中设计的三个验证维度——技术安全性丶供应链韧性和数据合规透明度。追光四期的工艺数据覆盖的是供应链韧性维度中最核心的环节：当进口设备和耗材被切断时，国产替代方案能不能让产线继续运转，以及运转的质量能不能被独立验证。

梁志远从数据存档间出来时，天色已经暗了下来。合城产业园的主干道上路灯亮了，追光四期厂房的洁净车间外墙在灯光下泛着淡蓝色的光。一辆从合城火车站方向驶来的货车正在备品仓库门口卸货，货箱上贴着新加坡区域备件仓的标签——那是程功从南洋调拨的最后一批在线精密过滤器，以及恒信科技发往印巴装配厂的新一批检测设备组件。

他站在厂房门口，看着卸货的叉车在仓库和货车之间来回穿梭。追光四期的国产化试产节点已经完成，但这只是整个国产替代长跑中的一个里程标记。离子源灯丝还在等着专项验证，抛光液还在等着中试放大，离子注入机的片内均匀性还在等着向天权6号的标准冲刺。而所有这些努力的时间表，都被火龙联盟随时可能落地的实体清单压在一个越来越紧的窗口里。

终端上，章宸发来了一条会议通知。通知的标题是「天权6号功耗曲线优化攻关启动会」，时间定在次日早上八点，地点在中央研究院封闭开发区四号会议室。通知末尾附了一行备注：「张京京的多时钟域方案已冻结，下一步攻关重点是异构互联总线的动态功耗曲线在极端工况下的非线性区建模。赵静的小芯AI预调度模型需要追光四期极限温度测试数据做校准，请梁志远协调提供天权4号在一百二十五度环境温度下的总线电流实测数据。」

梁志远回了一个字：「好。」然后收起终端，走向备品仓库。仓库里，恒信科技的检测设备组件已经被拆箱，王浩派来的安装工程师正在核对组件清单。这批设备将在三天内装车发往印巴工业城，安装到第三条生产线的预留工位上。而在印巴装配厂的第二条生产线上，阿米尔带的第二批学员已经进入跟岗第三周，法蒂玛的天罡Edge部署维护课程也进入了实操模块。

梁志远在备品仓库的货架间站了片刻，货架上贴着的绿色丶黄色和红色标签在仓库的灯光下格外清晰。红色标签的货位还有三个是空的——光刻胶丶离子源灯丝和抛光液。他在心里把这三个空缺和试产流程追踪表上的三个红色标签对了一遍，然后拿起终端给程功发了一条消息：「下一阶段国产替代攻坚重点：光刻胶中试线推进丶离子源灯丝专项验证丶抛光液中试放大。供应链端请优先对接这三项的国内供应商产能摸底。」

消息发出后，他走出仓库。合城产业园的夜幕已经完全降临，追光四期洁净车间的灯光在夜色中连成一片不灭的光带。远处产学研融合中心的大楼里，方敏办公室的灯也还亮着——产业扶持基金第二批评审会的材料正堆在她的案头，恒信科技丶绿能环保和启智软体的成果汇报刚刚转化为第二批申请企业的评审模板。

而在八千公里外的法兰克福，李明哲正穿过美茵河畔的石桥，走向联合检测验证工作组秘书处设在日内瓦的办公楼方向。他手里的公文包里装着三份材料的目录——恒信科技检测数据丶天罡Edge临床数据丶以及即将在四十八小时内从合城发来的追光四期国产化试产全流程工艺数据。三批数据将在一个月内全部提交完毕，作为未来科技在「供应链韧性」维度上的核心证明。

石桥下的河水在初冬的暮色中无声流淌，两岸的灯火倒映在水面上，像两条正在逐渐靠近的光带。